适用晶圆大小

8寸

出光面积

Φ250mm

UV灯波长

365nm～415nm

胶膜类型

UV膜  各种UV   Tape

胶膜厚度

0.15～3mm

照射方向

自下而上照射

解胶时间

0-999秒

UV总功率

600W

最大照射强度

1000mW/cm2

照射强度设定

20% ～   100%   可调

气源

80 psi (5.5bar) @ 30 Litre/min

电源

220VAC ±10% , 50～60Hz

外形尺寸

L1300*W800*H1845

总重量

250KG