一种晶圆自动上下料系统

浏览次数：3265作者：网站编辑发布时间：2022-07-29 来源：本站

专利名称	一种晶圆自动上下料系统
申请号	2020204970281	申请日期	2020-04-08
公布/公告号	CN212150728U	公布/公告日期	2020-12-15
发明人	刘明伟,黄古刚	专利申请人	东莞市正远智能装备有限公司
专利代理人	潘俊达;王滔	专利代理机构	天津市北洋有限责任专利代理事务所
专利类型	实用新型	主分类号	B65G47/90(2006.01)I
住所	广东省东莞市大岭山镇百花洞马山庙路2号6栋301室
法律状态	2020-12-15 授权
摘要	本实用新型属于晶圆制造技术领域,尤其涉及一种晶圆自动上下料系统,包括升降机构、固定架、料盘、滑动轴、夹取机构和搭载台,所述固定架安装于所述升降机构的输出端,所述料盘放置于所述固定架上,所述固定架设置有出料口,所述搭载台设置于所述出料口的前方,所述搭载台设置有与晶圆相匹配的限位架,所述夹取机构沿所述滑动轴在所述出料口与所述限位架之间往复水平移动。相比于现有技术,本实用新型提高晶圆的生产效率以及晶圆的生产良率。
摘要附图