浏览次数：2939作者：网站编辑发布时间：2022-07-29 来源：本站
| 专利名称 | 一种晶圆预热装置 | ||
| 申请号 | 2020207554837 | 申请日期 | 2020-05-09 |
| 公布/公告号 | CN211980576U | 公布/公告日期 | 2020-11-20 |
| 发明人 | 刘明伟,黄古刚 | 专利申请人 | 东莞市正远智能装备有限公司 |
| 专利代理人 | 潘俊达;王滔 | 专利代理机构 | 天津市北洋有限责任专利代理事务所 |
| 专利类型 | 实用新型 | 主分类号 | H01L21/67(2006.01)I |
| 住所 | 广东省东莞市大岭山镇百花洞马山庙路2号6栋301室 | ||
| 法律状态 | 2020-12-15 专利权人的姓名或者名称、地址的变更;2020-11-20 授权 | ||
| 摘要 | 本实用新型属于属于3C产品摄像头加工设备制造技术领域,尤其涉及一种晶圆预热装置,包括支座、发热组件、出风组件、送风组件、温度传感器和温度控制器,发热组件包括罩体和设置于罩体内部的发热模块,罩体固定设置于支座,送风组件固定设置于罩体的一侧,出风组件固定设置于罩体的相对一侧,温度传感器设置在出风组件的出风口处,温度传感器和温度控制器电连接,温度控制器和发热模块电连接,发热组件加热后的气流经由出风组件的出风口吹向晶圆底部。本实用新型提供的晶圆预热装置产生的恒定热气流从出风口吹向晶圆底部,给晶圆预热,降低了晶圆在膜上的粘合力,实现了晶圆的自动吸取,无需人工干预,提高了生产效率。 | ||
| 摘要附图 |
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业务联系人：13918060559/赵先生
售后联系人：13301852291/叶先生
地址：广东省东莞市大岭山镇百花洞马山庙路2号6栋301
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